電子級硅烷分析氦離子色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，采用中心切割與反吹技術，配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的檢測，檢測限達ppb級，重復性RSD≤1％。

　　

　　電子級硅烷分析氦離子色譜儀技術優勢說明：

　　

　　1、載氣純化器為可再生型純化器，能將5N級氣體純化到7.5N以上，超高純度的載氣讓AGC高純氣氣相色譜儀具有更高的靈敏度；

　　

　　2、載氣切換裝置的配置，可同時承載兩瓶載氣，避免載氣使用完畢在切換氣源時進入污染氣體，載氣切換裝置的配置保證了AGC氣相色譜更高的工作效率和分析質量；

　　

　　3、獨到的中心切割、反吹系統技術，可以一次完成多種復雜成分的分析檢測；

　　

　　4、雙檢測器并聯使用，搭載兩個*獨立的檢測器，它們的溫控系統和操作運行都是獨立的兩個檢測器，可以串聯，亦可以并聯；